概述簡(jiǎn)介:
普天同創(chuàng)(深圳)科技有限公司 為掃描電鏡客戶定制放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品。標(biāo)樣基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片,材料性質(zhì)穩(wěn)定。由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)對(duì)線距均勻性進(jìn)行測(cè)量認(rèn)證。測(cè)量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。
規(guī)格尺寸:
5mm×5mm×0.5mm(長(zhǎng)×寬×厚)
產(chǎn)品描述:
○. 主體圖形為一“回”字形方框,分為4個(gè)象限,X、Y軸上為垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條,
○. 4個(gè)象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形。
○. 內(nèi)框中部又是“回”字形方框,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條,小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形(如圖)。在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn),可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整。不同的線距大小可用于從10×~100,000×放大倍率范圍的校準(zhǔn),而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形,是為了在對(duì)放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí),可以對(duì)圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn), 5μm和1μm/0.5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線條,是為了方便同時(shí)對(duì)X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍率的校準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。
主要用途:
○. 可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正,是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品○. 利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像,可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)
使用方法:
○. 盡量使用較低的工作電壓,如5KeV或更低○. 可以直接參照標(biāo)樣說(shuō)明書(shū)的那八張相近圖像進(jìn)行測(cè)量
注意事項(xiàng):
使用前應(yīng)認(rèn)真檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品表面有無(wú)污染物和損壞,因?yàn)檫@會(huì)影響校準(zhǔn)。請(qǐng)勿使用已破損或有污染物的標(biāo)準(zhǔn)樣品!可用清潔干燥的空氣或氮?dú)馇宄龢?biāo)準(zhǔn)樣品上的灰塵、碎片或其他污染物,注意不要損壞標(biāo)準(zhǔn)樣品。有條件的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)不定期地通過(guò)與其他標(biāo)準(zhǔn)樣品的對(duì)比來(lái)檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品的特性和用法來(lái)確定其檢查頻率。