相對(duì)測(cè)量的平行度。
平行平晶,以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平行平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測(cè)量被測(cè)量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。
規(guī) 格 |
精 度 |
塊數(shù) |
0-25 |
0.6μm |
4 |
25-50 |
0.6μm |
4 |
50-75 |
0.6μm |
4 |
75-100 |
1.0μm |
4 |